อื่น ๆ
เอกสารมาตรฐาน
สหรัฐอเมริกา
SEMI
Book of SEMI Standards 1984, Vol. 2-5 / Semiconductor Equipment and Materials Institute
1984
0
537.622 BOO Std. Standard (FL6)
V.2. Equipment division. V.3. Materials division. V.4. Packaging division. V.5. Photomasks division